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扫描干涉显微镜是利用
光的干涉现象来测量精密加工零件表面三维形貌的仪器。高度方向(Z轴)的分辨率达0.1nm(纳米),属纳米级测量显微镜,又被称为纳米显微镜,三维形貌测量显微镜,白光干涉仪。 扫描干涉显微镜特点:纳米级高度三维测量,非接触高速度面扫描,表面形状的二维几何测量及三维体积测量,透明/非透明物体表面都可测量。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
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