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| 扫描干涉显微镜 ZNA-W1510 白光干涉仪 欢迎致电：021-50936266 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 一、用途： | |||||||||||||||||||||||||||||||||
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扫描干涉显微镜是利用 光的干涉现象来测量精密加工零件表面三维形 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 貌的仪器。高度方向（Z轴）的分辨率达0.1nm（纳米），属纳米级测量显微 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 镜，又被称为纳米显微镜，三维形貌测量显微镜，白光干涉仪。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 通过计算机的软件处理后，可获得被测物表面的精细结构，因此可用于 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 微小零件的精密测量。如光学微元件、集成电路刻线、膜层厚度、表面光洁 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 度等。该仪器采用可见白光光源，避免了激光对人眼的危险性和对被测物的 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 损害。对加工纹路混乱的表面及低反射率的工件表面也能进行测量。而且， | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 采用非接触测量和面扫描，避免了扫描隧道显微镜的许多缺陷。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 扫描干涉显微镜特点：纳米级高度三维测量，非接触高速度面扫描，表 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 面形状的二维几何测量及三维体积测量，透明/非透明物体表面都可测量。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 扫描干涉显微镜适用于电子、光学、精密加工等企业做精密测量工具， | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 也适用于高等院校、科研单位做科学实验仪器。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
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白光干涉仪-纳米显微镜 |
二、主要技术规格： | ||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 三、仪器配置： | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 1、仪器主体 1台 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 2、10X干涉物镜 1只 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 3、垂直扫描控制器 1件 （100μm） | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 4、光纤冷光源 1件 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 5、防震平台 1件 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 6、图像处理软件ImgScan 1套 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 7、图像分析软件PostTopo 1套 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 8、计算机 1台（含图像卡及2台显示器） | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 四、选购件： | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 垂直扫描控制器（400μm），20X/50X干涉物镜，标准高度规。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
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产品的规格参数随技术的发展会有所更新，欢迎咨询。 |
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非接触扫描干涉显微镜
光导线截面高度测量
上海宙山精密光学仪器有限公司
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