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显微镜首页 |
| 扫描干涉显微镜 ZNA-W1510 白光干涉仪-三维形貌测量显微镜-纳米测高仪-纳米显微镜 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 一、用途： | |||||||||||||||||||||||||||||||||
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扫描干涉显微镜是利用 光的干涉现象来测量精密加工零件表面三维形貌的 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 仪器。高度方向（Z轴）的分辨率达0.1nm（纳米），属纳米级测量显微镜，又 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 被称为纳米显微镜，三维形貌测量显微镜，白光干涉仪。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 通过计算机的软件处理后，可获得被测物表面的精细结构，因此可用于微小 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 零件的精密测量。如光学微元件、集成电路刻线、膜层厚度、表面光洁度等。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 该仪器 采用可见白光光源，避免了激光对人眼的危险性和对被测物的损害。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 对加工纹路混乱的表面及低反射率的工件表面也能进行测量。而且，采用非接 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 触测量和面扫描，避免了扫描隧道显微镜的许多缺陷。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 扫描干涉显微镜特点：纳米级高度三维测量，非接触高速度面扫描，表面 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 形状的二维几何测量及三维体积测量，透明/非透明物体表面都可测量。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 扫描干涉显微镜适用于 电子、光学、精密加工等企业做精密测量工具，也 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 适用于高等院校、科研单位做科学实验仪器。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
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白光干涉仪-纳米显微镜 |
二、主要技术规格： | ||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 三、仪器配置： | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 1、仪器主体 1台 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 2、10X干涉物镜 1只 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 3、垂直扫描控制器 1件 （100μm） | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 4、光纤冷光源 1件 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 5、防震平台 1件 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 6、图像处理软件ImgScan 1套 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 7、图像分析软件PostTopo 1套 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 8、计算机 1台（含图像卡及2只显示器） | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 选购件：垂直扫描控制器（400μm），20X/50X干涉物镜，标准高度规。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
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产品的规格参数随技术的发展会有所更新，欢迎咨询。 |
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非接触扫描干涉显微镜
光导线截面高度测量
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